ASTM F 1451-1992 用自动无触点扫描法测量硅片上索瑞(SORI)的方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-14 17:14:57 浏览:9312
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【英文标准名称】:TestMethodforMeasuringSorionSiliconWafersbyAutomatedNoncontactScanning
【原文标准名称】:用自动无触点扫描法测量硅片上索瑞(SORI)的方法
【标准号】:ASTMF1451-1992
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1992
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:电子工程;杂质;硅片;试验
【英文主题词】:electronicengineering;impurities;siliconslices;testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:31_020
【页数】:11P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:用自动无触点扫描法测量硅片上索瑞(SORI)的方法
【标准号】:ASTMF1451-1992
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1992
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:电子工程;杂质;硅片;试验
【英文主题词】:electronicengineering;impurities;siliconslices;testing
【摘要】:
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:31_020
【页数】:11P;A4
【正文语种】:英语
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